手套箱類
| 手套箱蒸鍍一體機 |
工作原理
本系統(tǒng)由真空鍍膜系統(tǒng)和手套箱系統(tǒng)集成而成，可在高真空蒸鍍腔室中完成薄膜蒸鍍，并在手套箱高純惰性氣體氛圍下進行樣品的存放、制備以及蒸鍍后樣品的檢測。
設(shè)備用途
主要用于太陽能電池鈣鈦礦、OLED和PLED、半導(dǎo)體制備等實驗研究與應(yīng)用。
優(yōu)點
蒸發(fā)鍍膜與手套箱組合，實現(xiàn)蒸鍍、封裝、測試等工藝全封閉制作，使整個薄膜生長和器件制備過程高度集成在一個完整的可控環(huán)境氛圍的系統(tǒng)中，消除有機大面積電路制備過程中大氣環(huán)境中不穩(wěn)定因素影響，保障了高性能、大面積有機光電器件和電路的制備。
| 多功能磁控濺射鍍膜系統(tǒng) |
主要用途
用于制備各種金屬膜、半導(dǎo)體膜、介質(zhì)膜、磁控膜、光學(xué)膜、超導(dǎo)膜、傳感膜以及各種特殊需求的功能薄膜。
